日本新宇宙半導(dǎo)體材料氣體檢測(cè)儀，應(yīng)用行業(yè)：半導(dǎo)體制造 檢測(cè)方式：自動(dòng)吸引式 檢測(cè)原理 熱線型半導(dǎo)體式
日本新宇宙半導(dǎo)體材料氣體檢測(cè)儀
特點(diǎn)
● 小型·輕量
● 可以檢查非常微量的氣體泄漏
● *適合氫氣相關(guān)設(shè)備的保安
● 搭載的泵有自動(dòng)停止功能
● 搭載[自動(dòng)氣體排氣模式]功能
● 保護(hù)等級(jí)約為IP22（JIS C 0920）※安裝皮套時(shí)
02.產(chǎn)品用途
● 半導(dǎo)體工廠/石油化學(xué)工廠等
● 在使用半導(dǎo)體材料氣體/毒性氣體的現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行泄漏檢測(cè)
日本新宇宙半導(dǎo)體材料氣體檢測(cè)儀
產(chǎn)品參數(shù)
型號(hào) | XP-703DⅢ |
檢測(cè)對(duì)象氣體 | H2、AsH3、B2H6、SiH4、PH3 |
檢測(cè)原理 | **型半導(dǎo)體式 |
采集方式 | 自動(dòng)吸引式 |
可檢測(cè)泄漏量 | H2 ：5.07×10-7、AsH3 ：2.53×10-7、B2H6、1.01×10-7SiH4、2.53×10-7 、PH3：1.52×10-7 |
可檢測(cè)濃度 | H2 ：5.07×10-7、AsH3 ：2.53×10-7、B2H6、1.01×10-7SiH4、2.53×10-7 、PH3：1.52×10-7 |
反應(yīng)時(shí)間 | 10秒以內(nèi) |
顯示方式 | 液晶數(shù)字（手動(dòng)背景燈） |
電源（額定） | 5號(hào)堿性干電池（LR6） 2節(jié) |
電池使用時(shí)間※1 | 約12小時(shí)（5號(hào)堿性干電池、25℃時(shí)） |
保護(hù)等級(jí)※2 | 相當(dāng)于IP22※3 |
使用壓力范圍 | 大氣壓（800～1100kpa） |
使用溫濕度范圍 | 0～40℃/85%RH以下（但不能結(jié)露） |
外形尺寸 | W38×H130×D32㎜（突出部分除外） |
重量 | 約190g（包括電池、皮套） |
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